전계방출형 주사전자현미경 (FE-SEM)
제작사/모델명
취득일자
▶시료에 전자선을 주사하여 시료표면에서 발생하는 신호를 검출기로 검출하여 브라운관상에 3차원적인 영상으로 표시해 대상물의 확대 상을 얻어 형태, 미세구조 등을 관찰하는 장비
▶장비에 EDS검출기를 부착하여 구성원소의 분포, 정성 및 정량 등의 분석 가능
▶금속 재료분야 : 금속 및 세라믹스의 표면 관찰, 반도체에서 기판 위에 증착시킨 박막 두께 관찰
▶화학공업분야 : 고분자의 형태와 크기, 표면형상 및 구성원소의 분포 확인(X-ray mapping)
▶지질분야 : 후방산란전자를 이용한 compo/topo 사진촬영